机械封装式压电陶瓷促动器能够在0 µm至200 µm甚至更高的运动范围内实现出色的性能，并产生高达上千牛的最大输出力。PA系列在非常紧凑外壳中提供了标称行程范围内的纳米分辨率和毫秒级的响应时间。在开环版本中，分辨率仅受控制电路的噪声限制，但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变，其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过压电促动器底部的螺纹孔完成的，移动端应避免弯矩载荷和侧向力。PA系列封装压电促动器的内部为压电直驱结构，因此，高度越高，位移将越大
可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性。SGS采用全桥方式传感器，并且对温度不敏感，闭环装置可以用于开环或闭环控制。
PAL VS12系列技术参数
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规格型号 |
标称行程 μm±10% |
驱动电压 Max. V |
外壳长度L mm±0.03 |
谐振频率 @0g. Hz |
轴向刚度 N/μm |
静电容量 μF±20% |
轴向负载 Max. N |
轴向拉力 Max. N |
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PAL 7 VS12 |
9 |
0...+150 |
19 |
40K |
120 |
0.8 |
1200 |
200 |
|
PAL 20 VS12 |
19 |
0...+150 |
28 |
30K |
60 |
1.8 |
1200 |
200 |
|
PAL 40 VS12 |
38 |
0...+150 |
46 |
20K |
25 |
3.6 |
1200 |
200 |
|
PAL 60 VS12 |
57 |
0...+150 |
64 |
15K |
15 |
5.4 |
1200 |
200 |
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PAL 80 VS12 |
76 |
0...+150 |
82 |
12K |
12 |
7.2 |
1200 |
200 |
|
PAL 100 VS12 |
95 |
0...+150 |
100 |
10K |
10 |
9.0 |
1200 |
200 |
|
PAL 120 VS12 |
114 |
0...+150 |
118 |
8K |
8 |
11 |
1200 |
200 |
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PAL 140 VS12 |
133 |
0...+150 |
136 |
6K |
7 |
13 |
1200 |
200 |
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PAL 160 VS12 |
152 |
0...+150 |
154 |
5K |
6 |
15 |
1200 |
200 |
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PAL ＞ 160 VS12 |
＞ 160 |
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