产品描述
PFV-080U压电物镜定位系统是为微调微物镜而开发的，最大运动为110 µm（开环）。PFV-080U的分辨率非常高，实际上仅受电源电压噪声的限制。非常适合高精度定位及具有纳米分辨率的应用。
蔡司，徕卡，尼康，奥林巴斯等的所有标准螺纹都可用于PFV-080U的显微镜侧或物镜侧。采用分离式螺纹适配器，将PFV-080U系统安装到显微镜上非常容易，将显微镜侧螺纹环拧入显微镜，并用螺钉将镜头定位系统安装在该环上，由于其尺寸紧凑较小，因此非常集成在系统设备中。
PFV-080U压电物镜定位系统采用压电陶瓷驱动，采用零间隙，高精度柔性铰链导向系统使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用高精度位移传感器闭环，具有更高的精度、线性度，被广泛的应用于超分辨率显微镜，光学捕获和原子力显微镜等领域。
为了避免漂移和迟滞现象，PFV-080U还提供了集成的应变仪测量系统(SGS)。特殊的集成式预载设计具有很小的角度偏差、高度平行的大运动范围、高共振频率等特点。
PFV-080U系列技术参数
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规格型号1 |
PFV-080U |
PFV-080U-S |
公差8 |
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运动轴 |
Z |
Z |
- |
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集成传感器 |
- |
SGS |
- |
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标称行程范围2（@0~+120V） |
80 μm |
80 μm |
±10% |
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最大行程范围2（@-20~+150V） |
110 μm |
110 μm |
±20% |
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分辨率3 |
0.7 nm |
2.0 nm |
typ. |
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最小移动步长4 |
3.0 nm |
3.0 nm |
typ. |
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线性误差 |
- |
0.03% |
typ. |
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重复定位精度（全行程） |
- |
0.03% |
typ. |
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角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转） |
10 μrad |
10 μrad |
typ. |
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承载能力5 |
3 N |
3 N |
Max. |
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谐振频率（0g） |
350 Hz |
350 Hz |
±20% |
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运动方向刚度 |
1.4 N/μm |
1.4 N/μm |
±20% |
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运动方向推力/拉力 |
110N / 15N |
110N / 15N |
±20% |
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驱动机构 |
PZT |
PZT |
- |
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工作温度范围 |
-20~+80 ℃ |
-20~+80 ℃ |
typ. |
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线缆长度6 |
1.5 m |
1.5 m |
±10mm |
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螺纹适配 |
RMS, M25, M26, M27 |
RMS, M25, M26, M27 |
- |
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外形尺寸（长×宽×高） |
48 × 40 × 25 mm（含适配器） |
48 × 40 × 25 mm（含适配器） |
- |
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重量7 |
150 g |
150 g |
±5% |
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PZT&Sensor连接器 |
LEMO |
LEMO |
- |
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本体材质 |
铝、钢 |
铝、钢 |
- |
粤公网安备 44030702001206号