CYG513薄型压力传感器（表压、差压）

CYG513型薄形压力传感器是专为空气动力学研究中，风洞中试验模型表面压力场分布设计的。它尤其适用于模型很薄，无法用打孔安装微型探针型传感器的应用工况。将极薄的CYG513传感器直接贴装或挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装。CYG513的极薄的专用柔性引线可直接贴在模型表面上。因此它基本上不影响被测流场。（仅用于空气中测量使用）

CYG513的压力敏感元件采用当代先进的MEMS技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械加工，精密各向异性腐蚀及硅-玻璃阳极键合技术使得硅薄膜力敏结构具有很高灵敏度，很优良稳定性，很优良动态性能的同时具有较薄的厚度。综合力敏结构与衬底加固结构的总厚度仅为0.9mm，有利于获得较薄终尺寸的薄形传感器。

CYG513外形为薄园扣式。小直径为ф10mm、厚度为4 mm，参考压力既可在背面开口引出（513G），也可以在侧面引线部用毛细管引处（513D），引出线为5线柔性电线，长度为1m，在1m终点处接有用PCB板制成的电桥补偿平衡器，柔性电线的厚度为0.15 mm，宽度为4 mm。（也可用Φ1.75mm、Φ2.2mm、Φ2.5mm多芯屏蔽电缆出线）

CYG513G由于用敏感元件反面承压，因此它有优良的介质兼容性，也可用于水流动力学用途。它有相当宽的工作温区和非常优良的动态频响特性，可使用在低至零频，高至数万赫兹频带。

零位输出         0±5mV

满量程输出       小值30mV  典型值80mV  大值130mV

输入输出阻抗     小值3kΩ  典型值4kΩ  大值5kΩ

输入工作电流     1.2mA/1.5mA（恒流源）

存储温区         -55℃～+130℃

工作温度范围     -40℃～+120℃

补偿温度范围     0～60℃或工作温区内任意60℃温区(其它更宽温度段可协商定制)

测量介质        正压端：与材料兼容无腐蚀洁净液体及气体

负压端：无腐蚀、不导电、干燥、洁净的气体

过载能力         额定量程的200%

加速度灵敏度     ＜0.001%FS/g

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