CYG1000绝压真空度传感器

采用先进的硅微机械加工技术生产，以集成硅压阻力敏元件作为传感器的核心元件制成的绝对压力变送器，由于采用硅-硅直接键合或硅-派勒克斯玻璃静电键合形成的真空参考压力腔，及一系列无应力封装技术及精密温度补偿技术，因而具有稳定性优良、精度高的突出优点，适用于各种情况下绝对压力的测量与控制。

1、特点及用途：采用低量程芯片真空绝压封装，产品具有高的过载能力。芯片采用真空充注硅油隔离，

薄膜过渡传递压力，具有优良的介质兼容性，适用于对316L不腐蚀的绝大多数气液体介质真空压力

的测量。应用于各种工业环境的低真空测量与控制。

2、压力量程：0～5kpa绝对压力

3、输出/电源：4～20mA/24VDC或0～5V/15VDC（其它信号及电源可特订）

4、过载能力：≥200％FS

5、测量介质温度：-25℃～105℃

6、补偿温度范围：-10℃～70℃；

7、精度等级及性能指标：

1、特点及用途：采用标准的MEMS压力敏感元件制造，具有优良的精度、宽温区可工作的特点。适用于无腐蚀

性、无导电性的气体介质的绝对压力测量，具有优良的性价比。用于一般空气介质的低真空度、粗真空度及

绝对压力测量。

2、压力量程：60、100、160、250、400、600、1000、1600、2500kpa

3、输出/电源：4～20mA/24VDC或0～5V/15VDC（其它信号及电源可特订）

4、过载能力：≥200％FS

5、测量介质温度： J级 -55℃～125℃   M级 -20℃～100℃   L级 -20℃～80℃

6、补偿温度范围： J级 -20℃～80℃    M级 -10℃～70℃    L级   0℃～60℃

7、精度等级及性能指标：

1、特点及用途：采用标准的MEMS压力敏感元件，用真空充注硅油隔离，薄膜过渡传递压力，有优良的介质兼容性和长期稳定性，适用于对316L不腐蚀的绝大多数工业介质的绝对压力测量与控制。

2、压力量程：0～60kpa至0～100Mpa范围内，用户可任选

3、输出/电源：4～20mA/24VDC或0～5V/15VDC（其它信号及电源可特订）

4、过载能力：≥200％FS但大不超过110Mpa

5、测量介质温度：J级 -25℃～100℃   M级 -20℃～100℃   L级 -10℃～80℃

6、补偿温度范围：J级 -20℃～80℃    M级 -10℃～70℃    L级   0℃～60℃

7、精度等级及性能指标：

1、特点及用途：采用优质MEMS压力敏感元件，精密补偿并迁移压缩量程制成，适用于大气压力的精密测量，及通过大气压力测量的绝对海拔高度测量与控制用途。

2、压力量程：80～120kpa绝对压力或用户要求的迁移压缩量程

3、输出/电源：4～20mA/24VDC或0～5V/15VDC（其它信号及电源可特订）

4、测量介质温度：-55℃～125℃或-25℃～105℃用户可选择

5、补偿温度范围：-40℃～60℃ 或-10℃～80℃ 用户可选择

6、测量介质：空气

7、精度等级及性能指标：

指标 档级	精度等级 %FS	零位温度系数 ×10-4/℃.FS	灵敏度温度系数 ×10-4/℃.FS	零位短期时漂 %FS/24h	长期稳定性 %FS/1年
JA	0.25	2	2	0.1	0.2
JB	0.15	1	1	0.05	0.15

1、特点及用途：采用优质的MEMS压力敏感元件，用真空充注硅油隔离，薄膜过渡传递压力，有优良的介质兼容性和长期稳定性，压力接口设计采用卫生型法兰与卡箍相结合，专门设计用于卫生型或要求高度安全型的生化、食品、工业介质的精密测量与控制。

2、压力量程：0～100kpa～10Mpa

3、测量介质温度：-25℃～105℃

4、补偿温度范围：-10℃～80℃

5、输出/电源：4～20mA/24VDC，或0～5V/15VDC（其它信号及电源可特订）

6、测量介质：与316L兼容的介质（用户特殊测量介质必须告知厂家设计参考）

7、精度等级及性能指标：

1、安装接口：M12×1、74^o锥角或M20×1.5（其它可特订）

2、出线方式：航插（标准），可选霍斯曼或直出线

3、壳体材料：

1、安装接口：英制卡箍式，卡箍规格由用户订货确定

2、出线方式：航插（标准），可选霍斯曼或直出线

3、壳体材料：

欢迎来电咨询：0512-57218086或登录公司网站www.sqsensor.com