CYG515型薄形压力传感器是专为复杂环境下空气动力学研究中,模型表面压力场分布设计的。它尤其适用于模型很薄,无法用打孔安装微型探针型传感器的应用工况。将CYG515传感器直接贴装或挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装。CYG515的超细电缆引线可直接贴在模型表面上。因此它基本上不影响被测流场。
CYG515的压力敏感元件采用当代先进的MEMS技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械加工,精密各向异性腐蚀及硅硅直接键合技术使得硅薄膜力敏结构具有很高灵敏度,很优良稳定性,很优良动态性能的同时具有超薄的厚度。
CYG515外形为薄园扣式。1:标称直径为ф
CYG515由于用敏感元件背面承压,因此它适用于无腐蚀性的气液体测量。它有相当宽的工作温区和非常优良的动态频响特性,可使用在低至零频,高至数千赫兹频带。如果介质因素复杂:如水中或户外露天等环境中使用。
量 程 0~50kPa、100kPa、150kPa、300kPa、400kPa、800kPa、1200kPa、2400kPa (绝压)
零位输出 0±10mV
满量程输出 小值60mV 典型值100mV 大值150mV
输入输出阻抗 小值3 kΩ 典型值4kΩ 大值5kΩ
输入工作电流 1.2mA(恒流源)或12VDC
存储温区 -55℃~
工作温度范围 -40℃~+
补偿温度范围 0~
测量介质 与材料兼容无腐蚀洁净液体及气体
过载能力 额定量程的200%
加速度灵敏度 <0.001%FS/g