优质巨化制冷剂R14

R-14主要用途

R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、医用制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

R-14物化性质

冷媒名称R14

分子量  88.0

沸点（1atm），℃  -128

临界温度，℃  -45.67

临界压力，kPa 3740

饱和蒸气压（25℃），kPa 3650（-45.6℃）

汽化热/蒸发潜热（沸点下，1atm），kJ/kg

破坏臭氧潜能值（ODP）  0

全球变暖潜能值(GWP，100 yr) 5700

ASHRAE安全级别 A1（无毒不可燃）

R-14冷媒包装

可重复使用高压钢瓶包装（需回收包装钢瓶）：8kg/瓶，30kg/瓶。

R-14储存、运输

R-14制冷剂钢瓶为高压容器，储存时应远离火种、热源、避免阳光直接曝晒，通常储放于阴凉、干燥和通风的仓库内；搬运时应轻装、轻卸，防止钢瓶以及阀门等附件破损。