D07-11C型质量流量控制器 ★高耐压性 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头,国际标准机械接头 ★CE认证,国际兼容用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
详细参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V
产品技术指标
满量程流量范围(N2) | 5SCCM~30SLM | |||||
控制范围 | 2~100%F.S. | |||||
阀类型(阀初始状态) | 电磁调节阀 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀(常闭) | |||||
|
||||||
|
||||||
重复精度 | ±0.2%F.S. | |||||
响应时间 | ≤4sec | |||||
工作温度范围 | 5~45℃ | |||||
|
||||||
耐压 | 10MPa | |||||
漏气率 | 1×10-9 | |||||
通道湿材料 | 316L不锈钢、密封材料 | |||||
静密封材料 | 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶) | |||||
动密封材料 | 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯) | |||||
|
||||||
抗电磁干扰 | CE | |||||
重量 | 2.6kg |