AE-射频发生器-PARAMOUNT HP 10013

产品型号：PARAMOUNT HP 10013

产品介绍：基于 Advanced Energy 标志性的 Paramount RF 发生器平台，Paramount HP 10013 为更高功率应用提供全数字控制和动态等离子体响应。 具有低平均功率，实现准确且可重复的脉冲功率。 随着半导体工艺的发展，高纵横比器件需要高等离子体密度，同时保持低平均工艺功率。 派拉蒙 HP 10013 可实现高瞬时峰值功率，同时将平均过程功耗降至低。派拉蒙 HP 10013 使用数字架构，可实现准确的过程测量和控制，并提供与不断增长的制造需求保持同步所需的适应性。

性能特点：

增强的等离子体稳定性和工艺可重复性

准确的射频控制

对等离子变化的快速响应

满足特定应用需求的灵动性和适应性

全数字控制

实时功率和阻抗测量

严格调节的输出功率

电弧管理

上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术询问，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐，连航分别在德国和美国设立了公司和仓储，一举巩固了采购能力，扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势。

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