双频激光干涉检测仪器

系统组件

1、激光主机

精准——激光频率稳定度高，可溯源至国家标准。

SJ6800激光主机由DC12V电源适配器供电，输入电压范围在100V-240V之间皆可正常工作。

支持USB通信接口，可与计算机高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配备的SCSI接口，可提供外部触发信号输入和正交信号输出，以及其它扩展应用。

2、EC20环境补偿单元

可靠——对空气温度、湿度、气压和材料温度进行自动环境补偿。

激光干涉仪是以激光波长为载体，测量过程中环境条件（空气温度、湿度、气压）的变化会影响激光波长。

EC20环境补偿单元可实时检测环境条件的变化，同事进行激光波长补偿。

EC20环境补偿单元可连接三个材料温度探头，监测被测对象其材料的温度变化，同事进行材料的热膨胀补偿。

EC20环境补偿单元采用低功耗设计，无需额外的供电电源，其工作电源集成于USB接口。

为了方便现场使用，EC20环境补偿单元配备磁性挂板，温度探头的标准线长5m，亦可定制线长。

3、三脚架及便携箱

中图仪器双频激光干涉检测仪器具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。测量分辨率0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。

部分技术指标

线性测量

测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量精度：0.5ppm (0~40)℃

测量分辨力：1nm

测量最大速度：4m/s

角度测量

轴向量程：(0~15)m

测量范围：±10°

测量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

测量分辨力：0.1″

平面度测量

轴向量程：(0~15)m

测量范围：±1.5mm

测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

基板尺寸：180mm可调，360mm可调

测量分辨力：0.1μm