中图仪器激光干涉仪

 激光干涉仪主要用途是测量目标的运动状态，即目标的线性位移大小、直线度、垂直度、旋转角度（滚转、俯仰和偏摆）、两个目标在运动的平行性（度）、平面度等。不管是数控机床的导轨还是光刻机的机台，不管是飞行物还是京植物的变形、热膨胀，都要用到高精度激光干涉仪的测量，得到目标的运动状态。如精密机械设备、各类机床、三坐标测量机、机器人、线性位移平台、3D打印设备、自动化设备、精密检测仪器等领域的线性测量。

中图仪器SJ6000中图仪器激光干涉仪的主要的应用之一就是机床精度检测。可以通过与不同的光学组件结合，对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量。其线性定位测量的精度是0.5ppm，可以满足现在所有类型数控机床精度检测，它可以弃普通车间进行应用，具有更强的环境适应能力，同时可进行动态高速测量，配以相应元件后还可以测量角度、线速度、平面度、振动幅度及速度等。


SJ6000中图仪器激光干涉仪搭配不同的镜组还可以实现机床定位精度、重复定位精度、直线度、平行度、垂直度、偏摆角度等几何精度测量。

应用：检测五轴机床旋转轴精度

测量系统：激光头+角度干涉镜+角度反射镜

旋转轴的角度反射镜是安装在转台组件上，该组件可以绕中心自身旋转。在测量时，待测的旋转轴向正方向旋转某一个角度后，转台组件会沿着其逆方向地旋转该角度，例如待测轴沿正方向旋转15°，由于误差的存在，则可能旋转（15+ Δ）°；此时，转台组件会沿着逆方向旋转，即沿负方向旋转 15°，这样就使得角度干涉镜可以保持正对着激光头。而误差 Δ就是旋转轴的定位误差。
产品特点
SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体：
采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；
采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；
采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；
采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；
采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

SJ6000中图仪器激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，是高精度、高灵敏度测量仪器，广泛应用于机床、机器人、3D打印设备、精密机械设备、精密检测仪器、三坐标、自动化设备、线性位移平台等领域的线性测量。