PIEZOSYSTEM分辨率定位器TRITOR 100

产品型号：TRITOR 100

产品介绍：

TRITOR 100尺寸为40 x 40 x34 mm，如立方体和每轴100μm的平行XYZ运动范围，使其成为市场上小尺寸的3D压电平台之一。压电元件TRITOR 100构造成立方体，具有顶板和底板。 通孔用于固定定位系统，这对于所有动态应用都很重要。在顶板上有几个销孔和螺纹孔，用于安装外部组件。三维压电元件采用可靠的压电堆叠执行器构建，具有柔性绝缘，非常适合高动态负载。三轴压电定位器TRITOR系列结合了高刚度和运动直线度，是纤维校准，激光技术和许多其他微定位任务的纳米级高精度定位的理想解决方案。

性能特点

高度紧凑的设计带来更好的性能

平行四边形设计实现准确的平行运动

固态铰链带来高可靠性

没有机械间隙的运动

nm和小于1nm范围内的高分辨率

运动高达100μm

精密针孔

产品尺寸

尺寸：40 x 40 x 34毫米

产品应用

AFM 和 SFM 显微镜

光纤对齐

光束转向/光学技术

半导体技术

参数：

型号：TRITOR 100

开环运动（±10％）：100μm

每轴的电容：1.8μF

分辨率：0.2nm

共振频率x/y/z：500/550/480 Hz

刚度：1/1/1 N/μm

力（max.）生成x/y/z

拉力：10/10/10 N

推力：100/100/100 N

电压范围：-20...+130 V

电缆长度：1.2m

尺寸（L×W×H）：40×40×34mm

重量：165g

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