BROOKS金属密封热质量流量控制器GF135系列

上海兆茗电子科技有限公司优价销售BROOKS金属密封热质量流量控制器GF135系列，金属密封热质量流量控制器GF125系列

使用 GF135 诊断式压力变化补偿型 (PTI) 质量流量控制器确保关键流量过程的准确控制并使通量大化。全球首台“智能”质量流量控制器，真正意义上的变革者：该产品执行累积衰减比流量测定，无需停止过程气体输送。半导体制造商可利用该产品实时验证过程气体流量准确性、检查泄漏情况并监视传感器稳定性同时无需将流量控制器从气路上拆除。

GF135 PTI MFC 将全金属接液流路、超快速稳定功能和业内的过程气体精度相结合，能够改变各种淀积工艺的生产效率和吞吐率。

特点

长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%

稳定时间极短：<300 ms - <400 ms

满量程流速：3 sccm 至 5 slm

超高纯度流路 - 4μ 英寸 Ra 表面处理

借助衰减率 (ROD) 技术实现的嵌入式实时流量故障检测与预测功能

加强过程气体测量精度 - 大可提升三倍 - 经气体实测优化的气体建模功能

第三代压力变化补偿 (PTI) 技术

高清晰度的可旋转电子 LCD 显示屏能够本地显示流量、温度、压力和网络地址

DeviceNet™、RS-485 和模拟接口

优势

实时流量故障检测功能可更快速地根据流量偏差进行调节并能够提高晶圆成品率

传感器稳定性跟踪功能可通过预防性维护延长系统运行时间

阀泄漏跟踪功能有助于大限度降低"片晶圆效应"

提高过程气体测量精度，使其满足挑战性的 10 nm 级过程气体化学控制要求

产品拥有市场的流量稳定速度，可减少非生产性流量稳定步骤，支持先进的 3D 设备加工

提高压力变化补偿能力并实现过程气体控制，从而强化蚀刻和沉积控制

耐腐蚀 Hastelloy® 传感器拥有无可比拟的长期稳定性，可确保产率和通量大化

支持表面安装和 VCR MFC 的插入式更换，便于对现有系统中的关键气路进行升级

应用

半导体蚀刻工具

Brooks Instrument是精密流体测量和控制技术的全球领导者，能够实现的工艺性能，成立于1946年美国。是是ITW一个部门，ITW是的专业工业设备，消耗品和相关服务业的多元化制造商之一。主要产品包括：Brooks Instrument质量流量控制器、Brooks Instrument转子流量计、Brooks Instrument压力传感器、变送器、真空计、调节器、控制器等，广泛应用于重工业、油气精炼、化学和石化研究、制药和生物制药生产、太阳能电池、LED薄膜、光纤和半导体制造领域。

91beijian-我的备件网热销其他型号：

GEGA转速表ROD96 19K 480 0-6V

GEISSEL转接头731.3240.0 M32/40x1.5 铜质

GEMINI气动球阀1-1/4" 76-1-RT-6-A512SR-PMK-4-A510-3GP-SC03D-24VDC-DS

GEMS液位传感器LS1950-01950

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general可燃气体探测器S4000CH 标准配置 4-20Ma输出

general探头11159-1L

generalRelays BoardTB3

GENERANTHigh Pressure Relief ValveHPRV-500SS-T-750

GENERANT阀VRV-125B-B-15

 

 

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BROOKS金属密封热质量流量控制器GF125系列

GF125 系列产品是第二代多变量压力变化补偿型 (PTI) 金属密封质量流量控制器和仪表，有着超快的响应速度和超高的纯度。作为个将 PTI 质量流量控制技术引入市场的 GF125 系列产品大限度降低了压力和温度波动导致的过程气体流量变化。一台采用标准 MultiFlo™ 技术的 MFC 即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度。

结果：降低了气体显示屏尺寸和成本，这得益于省去了压力调节器、压力传感器和相关硬件的使用并辅以行业佳的 PTI 性能以大限度提高产率和生产效率。

特点

长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%ar

稳定时间极短：300 ms - <700 ms

满量程流速高达 300 slpm

超高纯度流路 - 4μ 英寸 Ra 表面处理

符合 SEMI F20 标准的接液材料

采用高速 ARM 处理器的耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器

可进行快速反应的无隔膜阀组件不受压差影响，并且测试表明产品经七百万次循环无故障

MultiFlo™ 技术拥有无与伦比的灵活性 — 一台设备经编程设定后即可满足数千种不同气体和流量测量范围配置的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度

本地显示屏可指示流量、温度、压力和网络地址以便于轻松解决供气和隔离阀故障问题

DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口

优势

GF125 系列产品通过将布鲁克斯仪器的流量传感器专利技术与能够进行快速反应的无隔膜阀组件相结合，可将响应速度和稳定速度较之其他质量流量控制器提高 3 倍。

经优化的接液流路，可提升干燥效果

MultiFloTM 技术可实现 MFC 流量测定量程的重新设定，通常是按 3:1 下调并且不影响精度，量程比或内漏率，以提供佳的工艺和库存灵活性

的气体数据库为您提供广泛的气体保护信息

压力变化补偿 (PTI) 功能能够克服传统 MFC 的限制（受进气压力波动影响明显）。产品效果表明其性能稳定并且可达到预期精度。

便捷的用户显示屏和独立的诊断/维护端口有助于设备安装、监测和故障排除

关键应用

半导体

MOCVD（金属有机化学气相沉积）

要求使用高纯度全金属流路的气体流量控制应用

Brooks Instrument是精密流体测量和控制技术的全球领导者，能够实现的工艺性能，成立于1946年美国。是是ITW一个部门，ITW是的专业工业设备，消耗品和相关服务业的多元化制造商之一。主要产品包括：Brooks Instrument质量流量控制器、Brooks Instrument转子流量计、Brooks Instrument压力传感器、变送器、真空计、调节器、控制器等，广泛应用于重工业、油气精炼、化学和石化研究、制药和生物制药生产、太阳能电池、LED薄膜、光纤和半导体制造领域。

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GENERANT精密仪表阀PMV-1B-K

GENUS气缸PPE DU R 25 50 12A

GEORGIN压力开关FPX-L-10-TX

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GEOSPACE检波器OMNI-2400

GES group编码器IH490-060ZR33-0512

GES group旋转编码器IS581-101CR65-01024

GESIPA铆钉枪GBM95

GESIPA牵引棒9320/727 9329

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BROOKS高温质量流量控制计5850EMH系列

来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了先进的性能，具有多种选择，允许大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

特点