上海胤旭机电设备有限公司优价销售 美国ZETA Instruments轮廓仪、三维轮廓仪、光学轮廓仪
ZETA Instruments公司总部位于美国硅谷(加州圣何塞市)。Zeta Instruments研发、生产全球领先的多模式光学测量和检测设备。产品广泛应用于多个高科技行业,包括:半导体先进封装、LED、先进玻璃制造、太阳能光伏、微流体以及硬碟行业。
美国ZETA Instruments公司主要产品:ZETA Instruments轮廓仪、ZETA Instruments三维轮廓仪、ZETA Instruments光学轮廓仪、ZETA Instruments 300MM晶圆全自动化测量。
Zeta Instruments 已23个国家安装了超过250系统。快速采用泽塔的产品证明了公司的差异化技术,具有10项专利和13的过程中更多的专利。Zeta的高速增长得益于快速的技术进步和对客户需求的专注。
ZETA Instruments三维轮廓仪
专门设计用于大尺寸(大可为510 x 610 mm)样品三维轮廓测量,Zeta-600可以结合Zeta特殊的应用软件包对PCB和柔性PCB进行三维测量。
产品特点:
特殊设计的保护罩用于扫描仪与外界的隔离
安装简单
设备可以零成本轻松移位
透射光照明
此功能可配备于玻璃载台系统
高亮度LED控制集成在先进的配方设置中,实现对样品的多光路同时扫描
光源位置和角度可调节
12×12英寸基台上有螺纹孔阵列方便灵活配置
用户可根据自己需求添加其它附件。
产品型号:ZETA-20、ZETA-300、ZETA-500、ZETA-600。
ZETA Instruments轮廓仪
为300 mm晶圆三维测量需求量身定制。完全集成的防振机制,特殊设计的保护罩用于扫描仪与外界的隔离,安装简单,设备可以零成本轻松移位。
产品型号:ZETA-20、ZETA-300、ZETA-500、ZETA-600、ZetaScan 系列。
ZETA Instruments 300MM晶圆全自动化测量
300mm全自动测量设备,可满足多种测量应用需求,如bump高度、粗糙度、蚀刻深度、膜厚和翘曲度。多模式光学可大幅缩短工艺质量监控的反馈时间。在同一设备上实现多个测量功能也省去了传送样品和更换设备的步骤。在一次测量中,Zeta-500系列非接触式光学轮廓仪就可测量出高度、尺寸、粗糙度、翘曲度、反射率和厚度。Zeta-580非接触式光学轮廓仪的高分辨率3D成像和分析能力也可以为大部分缺陷和工艺偏差的成因提供分析手段,减少了对耗时又昂贵的AFM或SEM的依赖。Zeta-500系列可测量从纳米级到毫米级的样品。
产品特点:
人性化设计--Zeta3D软件为数据采集和分析设计了简单直观的用户界面。工程师和操作员通过简短的培训就能熟练使用。
多功能一体式快速测量--这台高分辨率3D非接触式光学轮廓仪每次测量所需时间不到30秒。可一次测量Bump高度、粗糙度、膜厚(或反射率)和翘曲度等关键参数,而不需要反复上下片或更换不同的仪器。
专为工厂量产设计--Zeta-580满足100级洁净标准,配备300mm EFEM,可装载两个foup,配备pre-aligner和ionizer。 Zeta3D多功能测量软件拥有完善的全自动量产测量能力。
美国ZETA Instruments公司主要产品:ZETA Instruments轮廓仪、ZETA Instruments三维轮廓仪、ZETA Instruments光学轮廓仪、ZETA Instruments 300MM晶圆全自动化测量。