瑞士INFICON检漏仪,便携式火焰电离检测仪

上海智鸢机电设备有限公司优价销售   瑞士INFICON检漏仪,便携式火焰电离检测仪

 

   2000 年 6 月，由瑞士公司 OC Oerlikon（前身为 Unaxis）于 1996 年合并的三个知名国际真空技术公司旗下的仪表业务部门组成 INFICON。2000 年 11 月 9 日，INFICON的证券在瑞士证券交易所和纳斯达克公开发行。2005 年，INFICON 的股票从纳斯达克退市。2006 年，INFICON 开始分红。

   瑞士INFICON公司主要产品：INFICON检漏仪、INFICON便携式火焰电离检测仪、INFICON残余气体分析仪、INFICON射频传感器、INFICON真空计、INFICON薄膜沉积控制器、INFICON薄膜沉积监控器。

产品介绍：

INFICON检漏仪

   在各种细分市场中，从汽车行业到制冷和空调技术再到半导体元件的制造和太阳能技术，INFICON的检漏仪都能达到高的质量并提高过程安全性。利用 INFICON 检漏仪，产品维护和故障排除所需的时间和资金将会降至低水平，运行成本将会显著减少。举例来说，INFICON 检漏仪的灵敏度极高，可将不到百万分之一克的气体释放视为泄漏。

   将由了解行业需求知识的专门联系人负责与您共同确定所需的规格。安装新检漏仪之后，INFICON将为您提供全球一流的服务支持，并根据需要传授故障排除专业知识，以帮助您高效地利用检漏仪。所有 INFICON 检漏仪都针对具体应用进行了优化。在开发阶段，与INFICON的专家密切合作以持续优化产品和服务。这还包括在客户场地进行新产品评估。INFICON 产品不仅采用尖端的技术并达到高的性能，而且操作起来也非常简便。使用 INFICON 检漏仪，费时的培训和处理导致的误差都已成为过去。

产品特点：

符合高的质量标准，有助于您实现质量管理目标

有助于确保可靠的生产过程

降低运行成本

由专门指定的联系人提供迅速而一致的支持

为您的应用度身定制的检漏产品。

INFICON便携式火焰电离检测仪

   采用 LDAR 程序识别 炼油和工业过程中使用的各种组件中的意外挥发性有机化合物 (VOC) 泄漏。 LDAR 程序包括 对检测频率和 特定组件类型（如阀门、连接器或泵）的排放水平的监测要求。 美国 EPA 方法 21 规定了 在执行 LDAR 操作时需遵守的协议，还规定了用于 VOC 泄漏检测的本质安全型火焰 电离检测 (FID) 技术。

   DataFID 是一种便携式的本安型火焰 电离检测仪，能够可靠测量潜在危险 环境中的 VOC。DataFID 采用内置 蓝牙® 无线技术，可将数据快速下载到手持式数据记录 PDA。 安装外部蓝牙天线，可 提高蓝牙覆盖范围并大程度降低 信号干扰。创新Hydrostik™ 是一种金属氢化物-氢气燃料钢瓶，能向 DataFID 提供高纯度、低压力 (80 psi) 的氢气，用以连续监控 VOC。这款 外观小巧、可再填充的轻型钢瓶可提供 10 小时的 氢气供应，并能轻松放入口袋。 这些功能及其坚固耐用的机箱 以及长时间电池寿命，使 DataFID 成为炼油或工业过程中泄漏检测和 修复操作的理想仪器。

   DataFID 的设计达到甚至超过美国 EPA 方法 21 的要求，能够为 LDAR 操作可靠测量数据。方法 21 模式允许用户重新编程 用于特定位置的采样点和泄漏定义，或在采集每个数据点后，手动输入位置。此外，DataFID 可兼容常用 LDAR 软件包，包括 Guideware™ 和LeakDAS®。

产品功能：

便携式火焰电离检测

本质安全

蓝牙无线技术

13 小时的电池使用寿命

LDAR 探针（可选）

10 小时的氢气供应

熄灭后通过 PDA 软件重新点火。

INFICON残余气体分析仪

    持续升高的硅晶圆价格和成品需求意味着损坏晶圆的代价比以前更高。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内一流的性能，有助于大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具较低总体拥有成本和较长故障平均间隔时间的特性，有助于让您的盈亏底线优于市场上的所有其他残余气体分析仪 (RGA)。

   INFICON 发挥其在气体分析过程控制设备领域的专长，制造的 RGA 拥有业内一流的数据采集速度、低可检测分压和小的信噪比。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。

产品功能：

模拟扫描和所选峰值的 1.8 ms 高每点数据率

TCP/IP 以太网连接

双丝极

可现场更换电子倍增器

组合阳极、阴极和反射极丝极套件

较短的传感器可降低安装占地面积

九个数量级的动态量程

<2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型号)

信噪比更高

可调换传感器和电子元件

传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装

符合 RoHS 标准。

INFICON射频传感器

   INFICON 射频传感技术能够为半导体过程工具提供高度准确、宽频、频率判别式射频测量。通过此射频数据，可以详细了解过程开发和生产过程问题中的实际等离子状态，大幅降低过程变异性。此款非接触嵌入式电缆安装的射频传感器是其先进过程控制 现场 传感器套件中的新款传感器，可以与 FabGuard 传感器集成与分析系统结合使用，提供关键诊断信息，例如准确的腔室和过程功率与阻抗测量、故障根本原因分析（例如匹配网络问题）、用于腔室匹配的过程“指纹”识别以及 PVD、CVD 和蚀刻应用的晶片计量建模。

   INFICON 射频传感器技术利用 FabGuard 打造了高精确的产品，可通过对基本电压电流和谐波电压电流进行测量与分析（包括相角测量），预测晶片计量结果，因而工程师能够控制每个加工晶片的实际晶片计量结果。现在，FabGuard 的强大算法性能与射频传感技术结合，可以基于实时测量以及易于理解的用户界面所提供的相关性分析，显著提高半导过程的可重复性、稳定性和准确性。

产品功能

CVD 应用

   - 晶片计量建模（薄膜应力、薄膜厚度）

   - 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制

   - FDC（例如等离子体不稳定性、充电）

   - 腔室匹配（射频指纹）

PVD 应用

   - 晶片计量建模（电阻率）

   - FDC

   - 腔室匹配（射频指纹）

蚀刻应用

   - 晶片计量建模（蚀刻速率）

   - 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制

   - FDC

   - 腔室匹配（射频指纹）。

INFICON真空计

   INFICON 宽量程真空计设计紧凑，的准确度和可靠性，采用的四项物理技术涵盖从超高真空到大气的整个真空范围。

   INFICON皮拉尼（Pirani）技术可在中低真空范围内进行成本有效的测量。INFICON 微型电容式膜片技术可在低真空范围进行精确测量，而超高和高真空范围则采用由热或冷电离技术。每一种测量技术均提供单独的传感器或真空计组合 互补的测量技术确保在整个真空范围内佳的性价比。

   INFICON 的单一 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402，测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。独特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性 和长使用寿命。

产品特点：

测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）

出色的可重复性，在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%

过压检测保护，防止灯丝烧毁

两根长寿命氧化铱灯丝

发射电流选择，降低控制的繁琐

植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性，并且易于更换

符合RoHS。

INFICON薄膜沉积控制器

   Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多独特的功能，可帮助您实现 OLED 过程的大价值。Cygnus 2 使用INFICON ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的佼佼者。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能，赋予您的过程卓越的可重复性。

产品功能：

INFICON ModeLock 技术确保获得高、稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下

Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度

一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器

彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况

10 Hz 测量

100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz

USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录

多个源厚度合计功能

测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积多 30 秒）

速率显示分辨率可达0.001Å

4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆

无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环

6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控

可选以太网通信

符合 RoHS 标准。

INFICON薄膜沉积监控器

   SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。两个记录器输出提供模拟速度和厚度信号。

   传感器输入可分配给不同的材料，在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制，或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器，从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s，用户可自行选择。此外，还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入，SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。

产品功能：

两个标准测量通道，另外四个可选

模拟输出便于记录速率/厚度

高分辨率选项： 每秒 10 个读数时 0.03 赫兹

RS-232 标准接口，可选择连接 USB 或以太网。

   瑞士INFICON公司主要产品：INFICON检漏仪、INFICON便携式火焰电离检测仪、INFICON残余气体分析仪、INFICON射频传感器、INFICON真空计、INFICON薄膜沉积控制器、INFICON薄膜沉积监控器。