1. 功能特点
1.1. 产品功能特点
SJ6000激光干涉仪测量精度高:以激光干涉技术为核心,分辨率可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。
具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。
具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线)及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测量与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等。
内置国内外通用的标准,如国标(GB)、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)等。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。
测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到Word、Excel文档。
安装方便:基本重量为15kg,简单便携。
1.2. 分析标准配置
激光干涉仪测量分析软件支持以下检验标准:
数据库内置的常用标准 |
||
序号 |
标准号 |
标准名称 |
1 |
ISO230-2 |
老版国际标准 |
2 |
ISO230-1997 |
新版国际标准 |
3 |
ANSI B5.54 |
美国国家标准 |
4 |
ASME B89.1.12M |
美国机械工程师协会标准 |
5 |
NMTBA |
美国机床协会标准 |
6 |
BS 3800 |
英国机床标准 |
7 |
BS 4656 |
英国三测机标准 |
8 |
JIS B6330 |
日本国家标准 |
9 |
GB 17421-2000 |
中国国家标准 |
10 |
VDI 3441 |
德国机床标准 |
2. 技术指标
2.1. 技术指标
系统性能
测量方式:单频
稳频精度:0.05ppm
动态采集频率:50 kHz
预热时间:约6分钟
工作温度范围:0~40℃
环境温度范围:0~40℃,环境湿度:0~95%
存储温度范围:-20℃~70℃
环境补偿示值误差
空气温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
空气湿度传感器:±6% (0-95%)
大气压力传感器:±0.1kPa
线性测量
测量距离:0-40m
测量精度:0.5ppm (0-40℃)
测量分辨率:1nm
测量大速度:4m/s
角度测量
轴向量程:0-15m
测量范围:±10°
测量精度:±(0.1+0.2%R+0.02M)″(R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)
测量分辨率:0.1″
平面度测量
轴向量程:0-15 m
测量范围:±1.5 mm
测量精度:±(0.6%R+0.02 M2)μm(R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
基板尺寸:160mm可调,360mm可调
测量分辨率:0.1μm
直线度测量
轴向量程:0.1-4.0 m
测量范围:±3.5 mm
测量精度:±(0.5+0.1%R +0.15M2)μm(R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
测量分辨率:0.01μm
垂直度测量
轴向量程:0.1-3.0 m
测量范围:±3.5mm
测量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″(R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)
测量分辨率:0.01μm/m
回转轴分度精度测量
角度测量范围:0-360°
精密转台角度增量:5°
精密转台分度精度:±1″
精密转台重复性:0.2″
2.2. 尺寸重量与供电
2 便携箱尺寸:560×360×250(基础系统),560×460×270(完整系统)
2 基本重量(含三脚架,包装):15Kg
2 供电电源:110~265VAC
3. 系统组件
3.1. 系统组件
1) SJ6000主机:1台
2) 环境补偿单元:1台
3) 光学镜组:
线性测量光学镜组:1套(标准配置)
小型线性光学镜组:1套(选配)
小角度测量光学镜组:1套(选配)
直线度测量光学镜组:1套(选配)
垂直度测量光学镜组:1套(选配)
平面度测量辅助附件:1套(选配)
回转轴测量精密转台:1套(选配)
4) 测量软件:1套
5) 便携式笔记本电脑:1台
6) 便携式仪器配件箱:1个
7) 通用三脚架:1个
8) 云台附件:1套
9) 磁性表座:2套
10) 产品使用说明书:1套
11) 产品合格证、保修卡:1套
12) 免费保修:1年
13) 校准证书(选配)
激光频率校准证书:
1)由深圳市计量质量检测研究院出具;
2)由其它机构出具。
环境补偿单元校准证书:
1)由深圳市计量质量检测研究院出具;
2)由其它机构出具。
线性位移校准证书:
1)由中国计量院出具;
2)由其它机构出具。
直线度校准证书:
1)由中国计量院出具;
2)由其它机构出具。
小角度校准证书:
1)由中国计量院出具;
2)由其它机构出具。
14) 夏、冬实验室工作服各1件(选配)