CYG507超微型齐平封装高频中低压传感器(表压、密封表压)
标称尺寸外径
CYG507的压力敏感元件采用先进的MEMS技术设计与制造。采用CAD技术的力敏结构与版图设计优化了力学模型、双岛膜结构(低微压)和梁膜岛复合结构(超微压)使得压力敏感元件实现了低量程、高灵敏度和优良线性度的统一兼得,应力互补设计和无应力微封装技术实现了量程下的良好稳定性。
1.零位输出:0±5mV
2、满量程输出: 小值20mv 典型值60mv 大值100mv
3、输入输出阻抗:小值2 kΩ 典型值5 kΩ 大值8kΩ
4、输入工作电流:2mA或1.5mA
5、工作温度范围:
6、补偿温度范围:
7、过载能力: 额定量程的300%
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