陶瓷压力传感器与压阻式传感器的不同之处始于膜片。厚度为50微米的金属膜片对其表面的作用力非常敏感。而陶瓷膜片的厚度至少为其十倍以上,并且根据测量范围的不同,厚度可以更大。这使得它们在受到机械作用力的影响时,能够更加稳定。此外,陶瓷相比金属也具有更好的弹性。
与金属材料相比,陶瓷在达到断裂点不久之前,是及其稳定的,它可以在作用力被释放后一次又一次地回到其原始位置。这一特性可以防止在产生过载现象时膜片发生任何变形以及由此带来的零点漂移。
另一个优势方面是连接陶瓷膜片和基体的活性焊接环使用的材料与陶瓷具有相同的膨胀系数。这有利于确保传感器内部参考真空的长期稳定性。干燥的测量系统能够保证,即使膜片发生任何缺陷,产品和测量系统也不会有被污染的危险。
Endress + Hauser的Ceracore陶瓷压力传感器的专利设计能够为真空应用提供佳测量条件。每一个传感器都可以进行单独配置,数字SPI/UART信号和开关量输出可选,低功耗,大高达40倍的过载压力保护,有着极好的耐腐蚀性和耐磨性,可满足特殊环境条件下低真空应用。
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