半导体专用螺杆真空泵

半导体专用螺杆真空泵特征特点：

1. 结构简单紧凑：对旋向相反的螺杆、泵体、端盖、密封件等部件组成，结构非常简单，非常可靠。

2. 抽气腔原件无摩擦：螺杆和泵体之间均有一定间隙。

3. 使用寿命长：由于腔内部部件之间不摩擦，润滑油在非气体过流部分部件中循环。

4. 真空度高：单台螺杆干式真空泵可替代三级罗茨泵水环真空机组。

5. 无污染：无需任何工作介质，因此无油污染，无污水。

6. 噪音低：一般情况下为80分贝左右。

7. 适宜抽可凝性气体（如水蒸气等）、含粉尘的气体。

8. 从大气抽至极限压力5Pa，只要一台泵就能解决。

9. 干式运行，溶酶回收更容易。

10. 润滑油在两端，因此无油耗。

11. 可与罗茨泵组成真空系统，获得更高的极限真空度和增大抽速。

12. 可与分子泵组成真空系统，真正达到无油环境。

13. 独有自动控制系统，使泵更加安全、可靠、方便使用。

14. 螺杆端面型线是等距单头转子型线，稳定性极高，适应范围广。

15. 进气口标配单向截止阀，防止气体回流，保护反应釜内的物质。

16. 出气口标配消音器件，无需客户另外购买。

17. 提供二种防腐蚀材料选择：镍磷合金、特氟龙。

18. 独特自主研发的高科技的自动控制系统，操作方便、简单、可靠、安全。

19. 使用成本极低：和传统真空泵相比，螺杆真空泵不使用真空泵油、水或其它液体作为介质，使用成本极低，也不污染环境。

20. 几乎不须维修：由于螺杆泵的结构特别简单，所以螺杆泵在使用中非常可靠。只要进行正常定期保养，维修的概率很低。配上本公司独有的自控系统，可以有效消除螺杆的积碳、积垢、长时间不用后容易卡死等现象。

半导体专用螺杆真空泵参数：

型号：PNK DSP 0460

额定流量：460m³/h

极限压力：1Pa

电机功率：15kw

转速：2900/3500rpm

噪音：75dB(A)

吸气口：80mm

排气口：65mm

冷却水量：15-20L

空温：0-50℃

操作湿度：90%RH

安装图

曲线图

东莞市普诺克真空科技有限公司坐落在中国制造名城----东莞，是一家集旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵及真空应用成套设备的专业生产厂家。

公司技术力量雄厚，工艺设备先进，产品质量上乘，配套齐全，是指引国内真空潮流的专业厂家。公司拥有真空泵，真空设备设计专业的技术人员，并不断吸收先进的技术与人才。具有先进的设计和制造工艺技术，拥有专业的真空设计开发中心，致力于开发，生产适应市场需求的新一代产品。

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