落地运营!大湾区首条6英寸MEMS传感器芯片生产线

   日期:2020-09-23     来源:仪商网    浏览:394    评论:0    
核心提示:随着物联网时代的到来,珠三角经济区作为中国最重要的制造基地之一,一直走在时代的前列。《粤港澳大湾区发展规划纲要》政策落实后,广州作为广东省省会城市和经济中心、一带一路新亚欧大陆经济走廊主要节点城市和海上合作战略支点,优势地位不断得到提升。
        随着物联网时代的到来,珠三角经济区作为中国最重要的制造基地之一,一直走在时代的前列。《粤港澳大湾区发展规划纲要》政策落实后,广州作为广东省省会城市和经济中心、一带一路新亚欧大陆经济走廊主要节点城市和海上合作战略支点,优势地位不断得到提升。

         近日,广州奥松电子有限公司6英寸MEMS传感器芯片生产线正式投入运营,成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片,并为部分珠三角客户提供MEMS半导体芯片代工服务。该生产线的建成投产标志奥松电子成为华南地区领先的MEMS半导体传感器芯片生产基地,推动国内、特别是粤港澳大湾区的MEMS半导体传感器高质量发展奠定了良好的基础。

微信图片_20200923111448

        奥松电子斥巨资打造MEMS半导体芯片生产线,一期工程净化车间总面积约2500平方米,配置湿法清洗区、百级洁净度光刻区、千级洁净度镀膜区、千级洁净度刻蚀区、千级洁净度离子注入区及参观通道等。整个洁净车间安装了多套高性能风淋系统,对进入洁净间的员工或者货物进行彻底风淋除尘。

        该生产线一期工程于2019年3月立项,2019年6月正式进入施工阶段。经过6个月的施工,生产线的基础设施已安装完成。2020年,多台步进式投影光刻机、双面光刻机、涂胶显影机、深硅刻蚀机、大束流离子注入机、PECVD、LPCVD、氧化炉、磁控溅射机、探针台、应力测试仪、全自动RCA清洗机等先进的自动化生产设备搬入,生产线正式投入运营。

微信图片_20200923111451

        奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程,生产设备约占整个投资规模的70%。一期工程已成功量产出温湿度传感器、空气质量传感器、气体传感器、流量传感器、差压传感器等多款优质的芯片产品。根据规划,2021年二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线;2022年三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线;总项目全部建成投产后,每月流片规模将达到4万片,满足奥松电子自身需求及粤港澳大湾区各类MEMS半导体芯片的代工需求。

       奥松电子在MEMS半导体传感器领域打破了国外企业的垄断,实现国产替代进口,勇担历史使命,为粤港澳大湾区建设贡献自己的一份力量。
 
打赏
 
更多>同类资讯
免责申明
0相关评论

推荐图文
最新资讯更多>
智荐头条更多>
最新供应更多>
网站首页  |  联系方式  |  关于我们  |  问题解析  |  版权隐私  |  使用协议  |  网站地图  |  排名推广  |  广告服务  |  积分换礼  |  网站留言  |  RSS订阅  |  违规举报  |  粤ICP备1207862号

中国智能化网(zgznh®)--引领工业智能化产业发展 共享智能化+优质平台

版权所有:深圳市智控网络有限公司 学术指导:深圳市智能化学会

粤ICP备12078626号-1 | 增值电信业务经营许可证号 粤B2-20120463

深公网安备案证字第 4403101901094 号 | 粤公网安备 44030702001206号