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产品名称:AE-射频发生器-Apex
产品型号:Apex
产品介绍:多功能 Apex系列射频发生器可提供非常高的功率密度和功率传输一致性。 先进的射频转换技术不仅提高了产品和工艺的可靠性,而且通过去除对前端 DC-DC 转换组件的需求,提高了成本效益。 异常快速和灵敏的电弧处理技术还可以提高产量并降低 CoO。 对于半导体、平板显示器或数据存储制造的等离子薄膜工艺的良好性能,Apex 平台是理想的选择。 凭借其独特的模块化设计——在一个非常紧凑的封装中,它可以直接安装在腔体上——Apex 平台还可以高度定制以满足您的特定工艺需求。
性能特点:
更高的功率密度
提高工艺灵动性
增加产量
降低成本
简化流程工具集成
灵活的通讯
流线型设计
宽带控制回路和可选的高重复率脉冲
上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件,提供过程控制技术询问,工业自动化集成设计与改造,成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐,连航分别在德国和美国设立了公司和仓储,一举巩固了采购能力,扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势。
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