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ENTEGRIS-预过滤器外壳和空气循环系统-E2000图1

ENTEGRIS-预过滤器外壳和空气循环系统-E2000

2022-08-10 11:061150询价
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 产品名称:ENTEGRIS-预过滤器外壳和空气循环系统-E2000

产品型号:E2000

产品介绍为扫描仪系统和小型环境的清理提供先进的二层保护。 如果需要额外的保护或没有空气处理系统,则可以化学净化环境空气。E2000 预过滤器外壳和空气循环系统是我们市场的 OEM 扫描仪集成过滤器系统的自然延伸。 E2000 系统增强了对空气中低分子量硅 (LMWSi) 和可冷凝有机物的镜片污染的保护。它满足 Nikon、ASML 和 Canon photobay 环境规范并延长 OEM 扫描仪过滤器有机物的使用寿命。作为独立系统使用,E2000 系统可以通过再循环空气和去除导致腐蚀和工艺问题的空气污染物来清洁设施。

性能特点

选择吸附化学物质以大限度地提高目标 AMC(空气中的分子污染物)的容量

匹配现有的 OEM 扫描仪过滤系统

用于过滤小型设施的紧凑型独立解决方案

适用于所有应用的轻松改造

符合 Nikon、ASML 和 Canon 环境规范

 

上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件,提供过程控制技术询问,工业自动化集成设计与改造,成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐,连航分别在德国和美国设立了公司和仓储,一举巩固了采购能力,扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势,进而提升了终端服务效率与水平。

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