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产品名称：ENTEGRIS-浓度监测仪-InVue GV148
产品型号：InVue GV148
产品介绍：InVue GV148 液体浓度监测器可在不干扰或中断过程的情况下，为化学品混合、加标和稀释提供实时过程流体浓度测量。GV148 液体浓度监测仪集成在一个紧凑的高的纯度封装中，可提供经济的高性能浓度监测，从而提高生产线前端 (FEOL)、生产线后端 (BEOL) 的工艺效率 ) 和子晶圆厂交付化学系统。 这种增加的过程可见性导致更严格的过程控制、更高的晶片产量、减少的化学品使用和减少的废料。GV148 监测仪采用经过验证的折射率技术，封装在紧凑的配置中，可提供准确和可重复的液体浓度测量方法。 在线传感器可准确测量过程流体的折射率 (IoR) 和温度。 然后使用该信息来计算过程流体浓度。
性能特点：
使用反射指数测量 CMP 浆料和非导电流体
带有集成电子元件的小尺寸可大程度地减小工具尺寸
HMI 软件支持实时数据记录、分析和定制
窗户清洁端口可轻松访问蓝宝石窗户进行清洁
上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术询问，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐，连航分别在德国和美国设立了公司和仓储，一举巩固了采购能力，扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势，进而提升了终端服务效率与水平。
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