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ENTEGRIS-过滤器外壳-E2600图1

ENTEGRIS-过滤器外壳-E2600

2022-08-09 11:241380询价
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 产品名称:ENTEGRIS-过滤器外壳-E2600

产品型号:E2600

产品介绍Entegris E2600 过滤器外壳用于化学净化光刻曝光工具中使用的环境空气。 E2600 过滤系统可保护曝光工具免受各种空气分子污染物的影响。 E2600 过滤器外壳设计用于与 Entegris 化学空气过滤器一起使用,以保护曝光工具中的化学放大抗蚀剂和暴露的光学表面。当配备 Entegris 混合介质化学空气过滤器时,E2600 过滤器外壳可提供先进的保护,防止空气中的分子酸、碱和可冷凝有机化合物。在 E2600 内部,专门的化学过滤器以多级串联配置排列,以提供保护,防止严重的污染事件,例如溶剂和显影剂化学品的意外溢出。

性能特点

去除酸、碱和可冷凝的有机物

内部 HEPA 过滤器确保颗粒控制

用于性能监控的堆栈间示例端口

占地面积小,节省洁净室空间

刚性结构确保可靠、无故障运行

双入口和出口过渡,用于简单、硬或灵活的管道连接

 

上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件,提供过程控制技术询问,工业自动化集成设计与改造,成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐,连航分别在德国和美国设立了公司和仓储,一举巩固了采购能力,扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势,进而提升了终端服务效率与水平。

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