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产品名称：VAT传输阀Series 053
产品型号：05312-LA24
产品介绍
采用 L-Motion 技术的 053 Transfer Insert 特别适用于蚀刻或 CVD 等腐蚀工艺。L-Motion 技术通过单轴气动执行器提供闸门的 L-motion。在这种 L 运动中，闸板垂直移动到关闭位置，与阀体没有任何接触，在最后的运动中，它被水平推到闸阀座上，密封件同时以完全相同的压力接触闸板座。这不仅避免了任何摩擦和潜在的颗粒产生，还大限度地减少了密封磨损。
为了进一步减少颗粒的产生和活化，闸门配有硫化密封件。这是一种比标准 O 型圈密封更可靠、更耐用的密封解决方案，尽管标准 O 型圈密封作为选项提供。轴馈通采用高度耐用的金属焊接波纹管密封。
为了确保闸门的整个长度具有相同的密封水平，闸门配备了一个特殊的压杆。该条保证了浇口每个区域的密封压力均匀分布。
在断电的情况下，05.3可以气动锁定在关闭位置。
带 L-Motion 的 05.3 转换插件专为延长免维护操作而设计（≤ 3 百万次循环，直到次服务）。
053 系列已安装在各种半导体生产工艺中的数百个要求苛刻的应用中，证明了其可靠性。053 系列具有坚固的设计以及减少和易于维护的特点，在各个方面都令人信服。
性能特点
l 在腐蚀性过程条件下可靠运行
l L-Motion 技术可避免粒子产生和激活
l 用于均匀浇口压力分布的压杆
l 波纹管密封轴馈通
l 延长免维护周期
l 平稳、低冲击运动
l 正常运行时间长/性能不受限制
l 快速操作
l 运营成本低
上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术询问，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐，连航分别在德国和美国设立了公司和仓储，一举巩固了采购能力，扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势。
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