1、中电科电子装备集团有限公司
中国电子科技集团公司独资公司,生产研发集成电路制造装备、新型平板显示装备、光伏新能源装备等,2015年销售收入突破100亿元。
2、北京北方华创微电子装备有限公司
由七星电子和北方微电子战略重组而成,是目前国内集成电路高端工艺装备的龙头企业。拥有半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件四个事业群。
3、中微半导体设备(上海)有限公司
致力于微观制程设备的研发、生产、销售。
4、上海微电子装备(集团)股份有限公司
致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产及销售。
5、沈阳拓荆科技有限公司
由海外技术专家于2010年创立,致力于研究和生产世界领先的极大规模集成电路行业专用薄膜设备。