CS200-A型数字式气体质量流量控制器

公司基本资料信息

详细说明

商品简介

高性价比产品，高精度，多气体多量程，自动调零，量程5sccm-50slm ，橡胶密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet

详细参数

产品型号	CS200-A
量程(N₂)	( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
量程(N₂)	( 0～1,2,3,5,10,20,50)SLM
精度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
精度	±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
重复精度	±0.2% FS
线性	±0.5% FS
响应时间	≤1sec
阀类型	Normally Closed or Normally Open
温度系数	Zer ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃
零点漂移指标	＜0.6%F.S. per year without autozero
表面粗糙度	25µinch
工作环境温度	（5～45）℃
输入信号	Digital:RS485/DeviceNet/Profibus Analog:(0～5)VDC(default)/ (4～20)mA/(0～20)mA<
模拟流量输出信号	0-5V和4-20mA
模拟流量控制信号	0-5V和4-20mA
电源要求	±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC(400mA)
电气连接	D sub 9 pins male, D sub 15 pins male, DeviceNet male, DeviceNet male+Analog Output,Profibus
工作压差范围	(0.05～0.35) MPa （≤10slm） (0.1～0.35) MPa（20slm, 30slm） (0.2～0.45) MPa（50slm）
大耐压	3MPa
漏率	1×10^-9atm·cc / sec He（1×10-10 Pa·m3 / sec He）
密封材料	氟橡胶Viton
接头尺寸	VCR1/4” M；双卡套Φ3、Φ6、Φ10、1/4”、1/8”
重量	1kg