该系列产品均为扩散硅压阻式压力传感器。是我们自己设计定型且各方面均已非常成熟的传感器
|
产品。它是利用压阻效应原理,采用半导体集成电路工艺及特殊工艺制成的一种用于力学量检测的传感器。其主要特点是高精度、高灵敏度、高稳定性和高可靠性。CYG101是我国设计定型的一个压阻压力传感器系列。其实测寿命已达107压力循环,平均无故障工作时间105小时以上,还可用于测量低达﹣100Kpa的负压,精度与测正压相同。CYG113量程下延至数百到数千毫米水柱,具有更高的灵敏度急刚高的分辨率,是低压测量的佳选择。而CYG105、CYG115则是针对中、高压力量程设计的
|
|
一.主要技术指标
|
型 号
|
CYG113
|
CYG101
|
CYG105
|
CYG115
|
量 程
|
0—4,6,10…KPa
|
0—100…1000KPa
|
0—1,1.6…MPa
|
0—10,16…MPa
|
零位输出
|
≤±10mv
|
满量程输出
|
50mV±30﹪
|
80mV±30﹪
|
过载能力
|
150﹪
|
供电电源
|
恒流源供电5—12mA或恒压源供电15VDC
|
电桥阻抗
|
0.6—1.2 K
|
补偿温区
|
﹣10℃—﹢60℃
|
工作温区
|
﹣40℃—﹢80℃
|
适用介质
|
对硅、玻璃、环氧树脂不腐蚀、相兼容的介质
|
|
|
二.分档性能参数
|
指标
档级
|
零点时漂 mv/8小时
|
零点温度系数
×10﹣4 / ℃·FS
|
灵敏度温度系数
×10﹣4 / ℃·FS
|
非线性 ±﹪FS
|
不重复性,迟滞 ﹪FS
|
A
|
0.2
|
5
|
5
|
0.5
|
0.2
|
B
|
0.1
|
3
|
3
|
0.3
|
0.15
|
C
|
0.1
|
1.5
|
2
|
0.15
|
0.1
|
D
|
高精度要求特定
|
|
|
三. 标准外形、压力接口及壳体材料
|
|
下图为 CYG101、 CYG113 、 CYG105 、 CYG115的标准外形,标准压力接口M12×1、M201.5,壳体
|
材料为1Cr18Ni9Ti不锈钢。可以接受非标准的外形、压力接口、材料的加工要求。
|
|
|